Filmes finos funcionais produzidos por tecnicas de plasma

As aplicaç?es tecnológicas atuais de materiais s?o vastas, principalmente metais revestidos com filmes de nitretos. Nos últimos anos, muitas investigaç?es tem sido realizadas com o objetivo de otimizar a ader?ncia destes filmes em substratos de aços visando ampliar o seu campo de aplicaç?es. Os filmes de nitretos compostos de cátions metálicos, especialmente de titânio, zircônio, cromo e alumínio, t?m demostrado ser de grande interesse em aplicaç?es onde s?o necessárias durezas superficiais, resist?ncias ? corros?o e ao cisalhamento. Entretanto, a ader?ncia destes filmes tem sido a principal limitaç?o para as aplicaç?es tribológicas que exigem grande esforço mecânico superficial. Neste trabalho é proposto o estudo de técnicas de diluiç?o da interface filme/substrato por: i) difus?o ou interdifus?o provocadas termicamente ativadas e ii) variaç?o gradativa da composiç?o química da interface filme-substrato (filmes funcionais). Foram estudados os filmes e as interfaces formados entre os filmes de TiN e AlN e os substratos de aços AISI M2 e AISI D6.